醫(yī)療真空機組由一系列配套的真空輔助設(shè)備組成，如真空泵、各種管道、集成傳感器、真空計、測量儀、電子控制系統(tǒng)等。根據(jù)主泵的類型，按應(yīng)用范圍分為低真空機組、中空泵機組、高真空機組和超高真空機組。

1)直排真空泵一般用于低真空機組，如體積往復(fù)泵、水環(huán)泵、油封機械泵、螺旋真空泵、濕式羅茨泵、噴射泵、分子篩吸附泵等。低真空機組工作壓力高，排氣量大，真空度高。

2)真空機組主要由羅茨真空泵+油封機械泵、羅茨真空+水環(huán)真空泵和雙羅茨真空泵組成。由于螺旋無油真空泵的廣泛應(yīng)用，羅茨真空泵+螺桿真空泵等無油真空泵逐漸增多，適用于鍍膜機、真空冶煉、真空熱處理、醫(yī)藥化工、電工焊接等需要大抽速、獲得中真空的各種真空系統(tǒng)。

在分子流狀態(tài)下，高真空機組的工作壓力范圍為10-2~10-6Pa，排量小，抽速大，主泵由擴散泵、分子泵、液力泵、液力泵、液力泵等組成，主要由擴散泵、分子泵、泵等組成，泵的工作壓力范圍為10-2~10-6Pa。

超高型真空機組的壓力范圍為10-6~10-10Pa，主泵的極限真空范圍為10-7~10-8Pa，保證相應(yīng)的抽速在壓力范圍內(nèi)，對系統(tǒng)組成的材料要求能承受200~450℃的高溫烘烤，漏氣率低，出氣率低。

真空裝置的測試值。

真空裝置系統(tǒng)是真空裝置中的一個關(guān)鍵參數(shù)，例如“真空度(負(fù)壓或增壓)”、實時監(jiān)控、自動調(diào)整“流量”等數(shù)據(jù)，如完成“真空保壓”、功能控制系統(tǒng)，如“自動定時停機、啟動定時定量”真空抽濾，稱為真空系統(tǒng)。